無塵室等級如何定義

　　無塵室的等級說明

　　使用者在開無塵室的等級給供貨商時，有以下幾個小技巧。

　　首先是等級定義的模式如下：

　　Class X (at Y μm )

　　其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復選。意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個例子：

　　Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

　　Class 100(0.2μm , 0.5μm )

　　Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

　　在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多幾個粒徑。

　　第二個技巧是規定無塵室的狀態，例如：

　　Class X (at Y μm )，At-rest

　　供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。

　　第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵室都很干凈，微粒控制能力測試不易，這時可以干脆把驗收上限壓低，例如：

　　Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

　　Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

　　這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時，依然有足夠的微粒控制能力。

　　以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義，和ISO-14644的等級定義。

　　Fed-Std-209E潔凈度定義

　　ISO-14644潔凈度定義

　　比較以上兩表我們可看出

　　209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表，徒然造成混淆

　　在兩表中0.5mm幾乎出現在每一個等級定義中，表示粒徑0.5mm的粒子非常具有代表性

　　在潔凈度的分類上，不管是在高潔凈度，或是低潔凈度，ISO-14644的范圍比209E都來的廣，因此具有未來性

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