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7 空氣凈化和空調通風設計7.1 一般規定
7.1.1 潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級,應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。
7.1.2 氣流流型應根據各潔凈室(區)空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。
7.1.3 有下列情況之一者,凈化空調系統宜分開設置:1 運行班次或使用時間不同;2 生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染,對產品質量或操作人員健康、安全有影響;3 對溫、濕度控制要求差別大;4 潔凈室(區)內工藝設備發熱相差懸殊;5 凈化空調系統與一般空調系統;6 系統風量過大的凈化空調系統。
7.1.4 潔凈室(區)內的溫度、相對濕度應符合本規范第3.2.3條的規定。
7.1.5 潔凈室(區)內的新鮮空氣量應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。
7.1.6 潔凈室(區)與周圍的空間應保持一定的靜壓差,靜壓差應符合下列規定:1 各潔凈室(區)與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要求確定;2 不同等級的潔凈室(區)之間的靜壓差應大于等于5Pa;3 潔凈室(區)與非潔凈室(區)之間的靜壓差應大于5Pa;4 潔凈室(區)與室外的靜壓差應大于10Pa。
7.1.7 潔凈室(區)維持靜壓差值所需的壓差風量,宜采用縫隙法或換氣次數法確定。
7.1.8 送風、回風和排風系統的啟閉聯鎖、控制要求,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。
7.1.9 非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風,并應進行凈化處理。
7.1.10 潔凈室(區)的清掃方式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區)宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1~5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統,潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷。