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3.2.1 潔凈室(區)的空氣潔凈度等級應按現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定執行。潔凈室(區)設計時,空氣潔凈度等級所處狀態(空態、靜態、動態)應與業主協商確定。
3.2.2 各種電子產品生產環境的空氣潔凈度等級應根據生產工藝要求確定;無要求時,可按本規范附錄A確定。
3.2.3 潔凈室(區)的溫度和相對濕度應按表3.2 3確定。
3.2.4 各類電子產品生產所需純水水質、氣體及化學品的純度和雜質含量等應根據生產工藝要求確定。
3.2.5 單向流和混合流潔凈室(區)的噪聲級(空態)不應大于65dB(A),非單向流潔凈室(區)的噪聲級(空態)不應大于60dB(A)。
3.2.6 潔凈室(區)的微振動控制設計應滿足精密設備、儀器的振動容許值要求。無要求時,可按本規范附錄C或根據其工作特性確定。